欢迎访问莱州市蔚仪试验器械制造有限公司官网!

服务热线:

0535-2234728 

0535-2259938

莱州市蔚仪试验器械制造有限公司

 

网站建设:中企动力 烟台        《中华人民共和国电信与信息服务业务经营许可证》:鲁ICP备11020329号

我们可根据用户的特殊制样要求设计开发金相制样设备,并为二汽集团、一汽轿车、中国有色金属研究院、中核集团等企业开发了金相切割机、金相研磨/抛光等专机,受到了用户的好评。

联系我们

公司地址:莱州市文峰街道南房家西

邮  编:261400

销售直线:0535-2234728 / 0535-2259938

售后服务:0535-2258999

国际贸易:0535-2277555

传  真:0535-2215835

E - MAIL:dongyi@dongyi.cc    

sales@weiyi.cc(Specifically for export business)

网    址:http://www.weiyi.cc

手机版官网

浏览量:
产品名称

VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪

没有此类产品
产品描述

1、引言

VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪是最新研制开发的镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。

配置两个靶枪,一个为配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个为配套直流电源用于导电类材料的溅射镀膜;可制备多种薄膜,应用广泛;体积小,操作简便。

2、主要技术指标

电源:220V 50Hz

最大功率:<560W(不含真空泵)

极限真空度:< E-6mbar(配合本公司设备使用可达到E-5mbar)

工作温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)

靶枪数量:2个(可选配其他数量)

靶枪冷却方式:水冷

靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)

直流溅射功率:500W(可选)

射频溅射功率:300W/500W(可选)

载样台:Ø140mm

载样台转速:1rpm-20rpm内可调

保护气体:Ar、N2等惰性气体

进气气路:质量流量计控制2路进气,每个流量为100SCCM

尺寸:500mm×560mm×660mm

整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm

重量:160kg

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
暂未实现,敬请期待
暂未实现,敬请期待
下一篇