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VTC-100PA真空旋转涂膜机

1、引言VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。2、主要技术指标电机功率:350W电源:AC220V50Hz速度范围:500rpm-10000rpm程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s时间范围:0-60s吸盘:Ø19mm、Ø60mm本机可选配加热功能
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产品描述
参数

  1、引言

  VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。


  2、主要技术指标

  电机功率:350W

  电源:AC220V 50Hz

  速度范围:500rpm-10000rpm

  程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段

  增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s

  时间范围:0-60s

  吸盘:Ø19mm、Ø60mm

  本机可选配加热功能:加温范围RT-150℃;加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟;温度单独控制,与主机程序控制无关联;

  尺寸:450mm×280mm×340mm

  重量:20kg

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